InChI=1S/C9H14F2N2O5/c10-9(11)6(16)4(3-14)18-7(9)13-2-1-5(15)12-8(13)17/h4-7,14-16H,1-3H2,(H,12,17)/t4-,5-,6-,7-/m1/s1